Кратко описание на молекулярно-лъчева епитаксия (MBE)
Технологията на молекулярно-лъчевата епитаксия (MBE) е разработена през 50-те години на миналия век за получаване на полупроводникови тънкослойни материали с помощта на технология за вакуумно изпаряване.С развитието на технологията за свръхвисок вакуум, приложението на технологията се разшири в областта на науката за полупроводниците.
Мотивацията на изследванията на полупроводниковите материали е търсенето на нови устройства, които могат да подобрят производителността на системата.На свой ред новите материални технологии могат да произведат ново оборудване и нови технологии.Молекулярно-лъчевата епитаксия (MBE) е високовакуумна технология за растеж на епитаксиален слой (обикновено полупроводников).Той използва топлинния лъч на изходните атоми или молекули, които въздействат върху монокристалния субстрат.Свръхвисоките вакуумни характеристики на процеса позволяват метализиране на място и растеж на изолационни материали върху новоотгледани полупроводникови повърхности, което води до незамърсени интерфейси.
MBE технология
Молекулярно-лъчевата епитаксия се извършва във висок вакуум или ултрависок вакуум (1 х 10-8Pa) среда.Най-важният аспект на епитаксията с молекулярни лъчи е нейната ниска скорост на отлагане, която обикновено позволява на филма да расте епитаксиално със скорост по-малка от 3000 nm на час.Такава ниска скорост на отлагане изисква достатъчно висок вакуум, за да се постигне същото ниво на чистота като другите методи на отлагане.
За да отговори на свръхвисокия вакуум, описан по-горе, устройството MBE （клетка на Кнудсен）има охлаждащ слой и средата на свръхвисок вакуум на камерата за растеж трябва да се поддържа с помощта на система за циркулация на течен азот.Течният азот охлажда вътрешната температура на устройството до 77 Келвина (−196 °C).Нискотемпературната среда може допълнително да намали съдържанието на примеси във вакуум и да осигури по-добри условия за отлагане на тънки филми.Следователно е необходима специална циркулационна система за охлаждане с течен азот, за да може MBE оборудването да осигури непрекъснато и стабилно снабдяване с -196 °C течен азот.
Циркулационна система за охлаждане с течен азот
Вакуумната циркулационна система за охлаждане с течен азот включва главно,
● криогенен резервоар
● главна и разклонителна тръба с вакуумна обвивка / маркуч с вакуумна обвивка
● MBE специален фазов сепаратор и изпускателна тръба с вакуумна риза
● различни клапани с вакуумна риза
● бариера газ-течност
● филтър с вакуумна кожух
● система с динамична вакуумна помпа
● Система за предварително охлаждане и продухване на повторно нагряване
HL Cryogenic Equipment Company забеляза търсенето на MBE система за охлаждане с течен азот, организирана техническа основа за успешно разработване на специална MBE система за охлаждане с течен азот за MBE технология и пълен комплект вакуумна изолацияedтръбопроводна система, която се използва в много предприятия, университети и изследователски институти.
Криогенно оборудване HL
HL Cryogenic Equipment, основана през 1992 г., е марка, свързана с Chengdu Holy Cryogenic Equipment Company в Китай.HL Cryogenic Equipment се ангажира с проектирането и производството на високовакуумно изолирана криогенна тръбопроводна система и свързаното с нея поддържащо оборудване.
За повече информация, моля, посетете официалния уебсайтwww.hlcryo.com, или имейл доinfo@cdholy.com.
Време на публикуване: 6 май 2021 г