Системите за охлаждане с течен азот се използват широко в производството на полупроводници и чипове, включително процеса на,
- Технологията на молекулярно-лъчева епитаксия (MBE)
- Тест на чипа след пакет COB
Свързани продукти
Серия вакуумно изолирани тръби
Серия гъвкави маркучи с вакуумна изолация
Система с динамична вакуумна помпа
Серия вакуумно изолирани фазови сепаратори
Серия вакуумно изолирани вентили
Поддържащо оборудване за тръбопроводна система
МОЛЕКУЛАРНО ЛЪЧЕВА ЕПИТАКСИЯ
Технологията на молекулярно-лъчевата епитаксия (MBE) е разработена през 50-те години на миналия век за получаване на полупроводникови тънкослойни материали с помощта на технология за вакуумно изпаряване.С развитието на технологията за свръхвисок вакуум, приложението на технологията се разшири в областта на науката за полупроводниците.
HL забеляза търсенето на MBE система за охлаждане с течен азот, организирана техническа основа за успешно разработване на специална MBE система за охлаждане с течен азот за MBE технология и пълен комплект вакуумно изолирана тръбна система, която се използва в много предприятия, университети и изследователски институти .
Често срещаните проблеми на индустрията за полупроводници и чипове включват,
- Налягането на течен азот в терминално оборудване (MBE).Предотвратете претоварването под налягане от повреда на оборудването на терминала (MBE).
- Множество контроли за вход и изход на криогенна течност
- Температурата на течния азот в крайното оборудване
- Разумно количество емисии на криогенни газове
- (Автоматично) Превключване на главни и разклонителни линии
- Регулиране на налягането (намаляване) и стабилност на VIP
- Почистване на възможните примеси и остатъци от лед от резервоара
- Време за пълнене на терминалното течно оборудване
- Предварително охлаждане на тръбопровода
- Устойчивост на течности във VIP система
- Контролна загуба на течен азот по време на прекъсване на работата на системата
Вакуумно изолираната тръба (VIP) на HL е изградена според кода за тръбопроводи под налягане ASME B31.3 като стандарт.Инженерен опит и способност за контрол на качеството, за да се гарантира ефективността и рентабилността на завода на клиента.
РЕШЕНИЯ
HL Cryogenic Equipment предоставя на клиентите тръбопроводна система с вакуумна изолация, за да отговори на изискванията и условията на производството на полупроводници и чипове:
1. Система за управление на качеството: ASME B31.3 Код за тръбопроводи под налягане.
2. Специален фазов сепаратор с множество входове и изходи за криогенна течност с автоматична контролна функция отговаря на изискването за газови емисии, рециклиран течен азот и температура на течния азот.
3.Адекватният и навременен дизайн на изпускателната тръба гарантира, че крайното оборудване винаги работи в рамките на проектираната стойност на налягането.
4. Бариерата газ-течност се поставя във вертикалната VI тръба в края на VI тръбопровода.Gas-liquid Barrier използва принципа на газовото уплътнение, за да блокира топлината от края на VI тръбопровода към VI тръбопровода и ефективно да намали загубата на течен азот по време на прекъсване и периодично обслужване на системата.
5.VI тръбопроводи, управлявани от серията вакуумно изолирани вентили (VIV): Включително вакуумно изолиран (пневматичен) спирателен вентил, вакуумно изолиран възвратен клапан, вакуумно изолиран регулиращ клапан и др. Различни видове VIV могат да бъдат модулно комбинирани, за да управляват VIP като изисква се.VIV е интегриран с VIP предварително производство в производителя, без изолационна обработка на място.Уплътнителят на VIV може лесно да се смени.(HL приема марката криогенен клапан, посочена от клиентите, и след това произвежда вакуумно изолирани вентили от HL. Някои марки и модели вентили може да не могат да бъдат направени във вакуумно изолирани вентили.)
6. Чистота, ако има допълнителни изисквания за чистота на повърхността на вътрешната гума.Предлага се клиентите да изберат тръби от неръждаема стомана BA или EP като вътрешни тръби за VIP за допълнително намаляване на разливането на неръждаема стомана.
7.Вакуумно изолиран филтър: Почистете възможните примеси и остатъци от лед от резервоара.
8. След няколко дни или по-дълго спиране или поддръжка е много необходимо предварително охлаждане на VI тръбопровода и терминалното оборудване, преди да влезе криогенна течност, така че да се избегне ледена шлака, след като криогенната течност навлезе директно в VI тръбопровода и терминалното оборудване.Функцията за предварително охлаждане трябва да се вземе предвид при проектирането.Осигурява по-добра защита за терминално оборудване и поддържащо оборудване за VI тръбопроводи, като например клапани.
9. Подходящ както за динамична, така и за статична вакуумно изолирана (гъвкава) тръбна система.
10. Динамична вакуумно изолирана (гъвкава) тръбопроводна система: Състои се от VI гъвкави маркучи и/или VI тръба, преходни маркучи, вакуумно изолирана система от клапани, фазови сепаратори и система с динамична вакуумна помпа (включително вакуумни помпи, електромагнитни клапани и вакуумметри и др. ).Дължината на единичен VI гъвкав маркуч може да бъде персонализирана според изискванията на потребителя.
11. Различни типове връзки: могат да бъдат избрани тип вакуумна байонетна връзка (VBC) и заварена връзка.Типът VBC не се нуждае от изолирана обработка на място.