Дори малки промени в температурата, налягането или чистотата могат да повлияят на добива при производството на полупроводници. Ние проектираме всяка криогенна трансферна система в HL Cryogenics, за да осигурим постоянна термична производителност и пълна чистота. Това е особено важно за критични инструменти като ецване, литография и системи за охлаждане на пластини.
Полупроводниковите заводи в Източна Азия се нуждаят от нещо различно от общите приложения за промишлен газ:
Много ниски вибрации и промени в налягането
Няма риск от замърсяване
Работи през цялото време, 24 часа в денонощието, 7 дни в седмицата
Това прави проектирането на системата много по-стриктно, отколкото е за повечето инфраструктури за втечнен природен газ (LNG) или за инсталации за промишлен газ на едро.
Типична система се състои от:
- Мини резервоарили съхранение в насипно състояние като криогенен източник
- Основно разпределение чрезВакуумно изолирана тръба
- Гъвкави връзки, използващиВакуумно изолиран гъвкав маркуч
- Контролни компоненти като напримерВакуумно изолиран вентил
- Управление на фазите чрезВакуумно изолиран фазов сепаратор
Всеки компонент трябва да бъде проектиран като част от напълно интегрирана система, за да се осигури стабилна работа.
Съдържание
1. Инженерен принцип: Намаляване на топлинните изтичания
2. Стабилност на вакуума и дългосрочна производителност
3. Проектиране на налягане и стабилност на потока
4. Съответствие с международните стандарти
●Инженерен принцип: Намаляване на топлинните изтичания
Основната цел на всяка система с течен азот е да предотврати навлизането на топлина. Топлината се разпространява през:
Проводимост през опори и материали за тръби
Радиация между стените на вътрешната и външната тръба
Газова конвекция, която остава във вакуумното пространство
НашиятВакуумно изолирана тръбаСистемите в HL Cryogenics са проектирани да създават много високи нива на вакуум (10⁻⁴ до 10⁻⁶ mbar), което значително забавя тези начини за пренос на топлина.
Крайният резултат е:
По-ниски нива на изпаряване
Стабилни нива на налягане
По-добра ефективност за цялата система
Вентил с вакуумна изолация
TheВакуумно изолиран вентилгарантира, че:
Малко топлина попада в контролните точки
Надеждно разделяне при много студени условия
Дълъг живот с по-малко поддръжка
По време на циклите на експлоатация и поддръжка, тези клапани са необходими за поддържане на системата в добро състояние.
●Вакуумна стабилност и дългосрочна производителност
Чрез комбиниране на нашитеДинамична вакуумна помпа, Вакуумно изолиран вентилиФазов разделител, ние ви предлагаме система, която ефективно премества течен хелий и намалява разходите. НашитеМини резервоариГъвкави маркучиНека се справим с мобилните и стационарните задачи с прецизност.
Поддържането на вакуум във времето е голям проблем за криогенните системи. Микротечовете и отделянето на газове от материала водят до повреда на традиционните статични вакуумни системи.
НашиятДинамична вакуумна помпапоправя това чрез:
Винаги следете нивата на вакуум
Редовно възстановяване на вакуумните условия
Предотвратяване на влошаване на производителността
Това гарантира, че вакуумната изолация работи по един и същи начин за дълги периоди от време, което е важно за фабриките за полупроводници, които се нуждаят от надеждност, без да се изключват с години.
Фазов разделителс вакуумна изолация
Вакуумно изолираниятФазов разделителе много важно за:
Получаване на пари от течен азот
Предотвратяване на достигането на газ до чувствително оборудване
Поддържане на стабилно налягане и температура надолу по течението
Това е особено важно за полупроводниковите инструменти, където дори малки газови мехурчета могат да объркат процесите.
Гъвкав маркучс вакуумна изолация
Вакуумно изолираниятГъвкав маркучви дава:
Механична гъвкавост за свързване на оборудване
Изолиране на вибрациите
Запазени изолационни характеристики
Правилно проектираните криогенни маркучи предпазват твърдите тръбопроводи от напрежение и ги правят по-надеждни във високопрецизни условия.
●Проектиране на налягане и стабилност на потока, избор на материали и чистота
За полупроводниковите приложения, поддържането на стабилно налягане е също толкова важно, колкото и поддържането на стабилна температура. Някои често срещани системни параметри са:
Работно налягане: 6–10 бара
Проектно налягане: 16 до 25 бара
Условия на потока: много различни в зависимост от това колко е необходим инструментът
Промените в налягането могат да доведат до:
Фазова нестабилност (преход от течност в газ)
Непоследователност в процеса
Оборудването не работи
За да поправим това, внимателно оразмеряваме криогенната тръбопроводна мрежа и добавямеВакуумно изолиран фазов сепараторагрегати за поддържане на постоянен поток и подаване на течна фаза.
Изборът на правилните материали е много важен както за производителността, така и за поддържането на чистотата. Обикновено използваме:
Вътрешни тръби, изработени от неръждаема стомана (например SS304/316L)
Материали с ниска топлопроводимост за опори
Многослойна изолация (MLI) с висока отразяваща способност
Всички криогенни системи на HL преминават през строги процеси на почистване, за да отговарят на стандартите за чистота с полупроводников клас, което елиминира риска от замърсяване с частици.
●Съответствие с международните стандарти
За да осигурим глобално приемане и доверие в обществените поръчки, ние проектираме системи в съответствие със:
- ASMEВ31.3
- DIN EN 13480
- ISO стандарти за криогенно оборудване
Това е особено важно за проекти в:
- Полупроводникови съоръжения в Източна Азия
- Индустриални газови инсталации в Европа
- Високотехнологични производствени центрове в Югоизточна Азия
По време на последната ни работа в Тайван за производител на електроника, инсталирахме пълномащабна система за течен азот, като приложихмеВакуумно изолирана тръба, Вакуумно изолиран гъвкав маркуч,иДинамична вакуумна помпа.
Основните проблеми, които трябваше да бъдат решени, бяха следните:
Отдалечен маршрут за доставка (>500 метра дължина)
Изискване за стабилно налягане (в рамките на ±0,2 бара отклонение)
Непрекъсната работа
Резултатите, получени чрез нашата система:
Повече от 95% намаление на топлинните загуби в сравнение с традиционните тръбопроводи
Поток на течност без фазова промяна
Непрекъсната работа в продължение на 18 месеца при поддържани вакуумни условия
●ЧЗВ
От 1992 г. насам HL Cryogenics е специализирана в проектирането и производството на криогенни тръбопроводни системи с висока вакуумна изолация и свързано с тях поддържащо оборудване, пригодени да отговорят на разнообразните нужди на клиентите. Ние притежаваме сертификати ASME, CE и ISO 9001 и сме предоставили продукти и услуги на много известни международни предприятия. Нашият екип е искрен, отговорен и ангажиран с постигането на високи постижения във всеки проект, който предприемаме.
Вакуумно изолирана/обвита тръба
Гъвкав маркуч с вакуумна изолация/обвивка
Фазов сепаратор / Пароотвод
Вакуумно изолиран (пневматичен) спирателен вентил
Вакуумно изолиран възвратен клапан
Вакуумно изолиран регулиращ вентил
Вакуумно изолирани конектори за студени кутии и контейнери
MBE системи за охлаждане с течен азот
Друго криогенно помощно оборудване, свързано с VI тръбопроводи — включително, но не само, групи предпазни клапани, нивомери за течности, термометри, манометри, вакуумметри и електрически контролни кутии.
Щастливи сме да изпълним поръчки от всякакъв размер - от единични бройки до мащабни проекти.
Вакуумно изолираните тръби (VIP) на HL Cryogenics се произвеждат в съответствие с ASME B31.3 Кодекс за напорни тръбопроводи като наш стандарт.
HL Cryogenics е специализиран производител на вакуумно оборудване, който доставя всички суровини изключително от квалифицирани доставчици. Можем да закупим материали, които отговарят на специфични стандарти и изисквания, поискани от клиентите. Типичният ни избор от материали включва неръждаема стомана ASTM/ASME 300 с повърхностни обработки като киселинно ецване, механично полиране, блестящо отгряване и електрополиране.
Размерът и проектното налягане на вътрешната тръба се определят според изискванията на клиента. Размерът на външната тръба следва стандартните спецификации на HL Cryogenics, освен ако клиентът не посочи друго.
В сравнение с конвенционалната изолация на тръбопроводи, статичната вакуумна система осигурява превъзходна топлоизолация, намалявайки загубите от газификация за клиентите. Тя е и по-рентабилна от динамичната вакуумна система, намалявайки първоначалните инвестиции, необходими за проектите.
●Свързани публикации
Време на публикуване: 13 април 2026 г.
