Системите за охлаждане на течния азот се използват широко в индустрията за полупроводници и чипове, включително процеса на,
- Технологията на епитаксията на молекулярния лъч (MBE)
- Тестът на чипа след пакет COB
Свързани продукти
Вакуумна изолирана тръба серия
Вакуумна изолирана серия от гъвкави маркучи
Динамична система за вакуумна помпа
Вакуумна изолирана фазова сепараторна серия
Вакуумна изолирана клапа серия
Оборудване за поддръжка на тръбопроводи
Епитаксия на молекулярната лъча
Технологията на епитаксията на молекулярния лъч (MBE) е разработена през 50 -те години на миналия век за приготвяне на полупроводникови тънки филмови материали, използвайки технология за изпаряване на вакуум. С разработването на ултра-високи вакуумни технологии прилагането на технологиите е разширено в областта на полупроводниковата наука.
HL забеляза търсенето на система за охлаждане на течен азот на MBE, организира технически гръбнак за успешно разработване на специална система за охлаждане на течен азот MBE за технология MBE и пълен набор от вакуумни изолирани тръбопроводи, които се използват в много предприятия, университети и изследователски институти .
Общите проблеми на полупроводниковата и чип индустрията включват,
- Налягането на течен азот в терминална (MBE) оборудване. Предотвратяване на претоварване на налягането от увреждане на оборудването на терминала (MBE).
- Множество криогенни течни входове и изходни контроли
- Температурата на течния азот в крайно оборудване
- Разумно количество криогенни емисии на газ
- (Автоматично) превключване на основните и клоновите линии
- Регулиране на налягането (намаляване) и стабилност на VIP
- Почистване на възможните примеси и ледени остатъци от резервоара
- Време за пълнене на терминалното течно оборудване
- Тръбопровод предварително охлаждане
- Течно устойчивост във VIP система
- Контролна загуба на течен азот по време на прекъснато обслужване на системата
Вакуумната изолирана тръба на HL (VIP) е изградена на ASME B31.3 код на тръбопроводи за налягане като стандарт. Инженерният опит и способността за контрол на качеството да се гарантира ефективността и ефективността на разходите на завода на клиента.
Решения
HL криогенното оборудване осигурява на клиентите вакуумната изолирана тръбна система, за да отговори на изискванията и условията на индустрията за полупроводници и чипове:
1. Система за управление на качеството: ASME B31.3 Код на тръбите за налягане.
2. Специален фазов сепаратор с множество криогенни течни входове и изход с автоматична функция за управление отговаря на изискването за емисии на газ, рециклиран течен азот и температура на течен азот.
3. Адекватният и навременният дизайн на отработените газове гарантира, че терминалното оборудване винаги работи в рамките на проектираната стойност на налягането.
4. Бариерата на газовата течност се поставя във вертикалната VI тръба в края на VI тръбопровода. Бариерата на газ-течността използва принципа на газовото уплътнение, за да блокира топлината от края на VI тръбопровода във VI тръбопровода и ефективно да намали загубата на течен азот по време на прекъснато и периодично обслужване на системата.
5.VI тръбопроводи, контролирани от серията вакуумна изолирана клапан (VIV): включително вакуум изолиран (пневматичен) изключителен клапан, вакуум изолиран клапан, вакуумна изолирана регулираща клапа изисква се. VIV е интегриран с VIP сглобяване при производителя, без изолирана обработка на място. Уплътнението на VIV може да бъде заменена лесно. (HL приема марката на криогенния клапан, определена от клиентите, и след това прави вакуумни изолирани клапани от HL. Някои марки и модели на клапаните може да не могат да бъдат направени във вакуумни изолирани клапани.)
6. Почистване, ако има допълнителни изисквания за чистотата на повърхността на вътрешната тръба. Предполага се, че клиентите избират тръби от неръждаема стомана на BA или EP като VIP вътрешни тръби, за да намалят допълнително разливането на неръждаема стомана.
7.Вакуум изолиран филтър: Почистете възможните примеси и остатъците от лед от резервоара.
8. След няколко дни или по -дълго изключване или поддръжка е много необходимо да се преохранява предварително VI тръбопроводи и терминална оборудване преди въвеждането на криогенна течност, така че да се избегне ледника, след като криогенна течност директно влиза в VI тръбопровода и терминалното оборудване. Функцията за предварително охлаждане трябва да се вземе предвид в дизайна. Той осигурява по -добра защита на терминалното оборудване и оборудване за поддръжка на VI, като клапани.
9. костюм както за динамична, така и за статична вакуумна изолирана (гъвкава) тръбна система.
10.Динамична вакуумна изолирана (гъвкава) тръбна система: се състои от VI гъвкави маркучи и/или VI тръба, джъмперни маркучи, вакуумна изолирана система за клапа, фазови сепаратори и динамична вакуумна помпа (включително вакуумните помпи, соленоидни клапани и вакуумни измервателни средства и др. ). Дължината на един VI гъвкав маркуч може да бъде персонализирана според изискванията на потребителя.
11. Видове връзки: Вакуумна щик връзка (VBC) и заварена връзка могат да бъдат избрани. Типът VBC не се нуждае от изолирано лечение на място.
