Системите за охлаждане с течен азот се използват широко в полупроводниковата и чип индустрията, включително в процеса на,
- Технологията на молекулярно-лъчевата епитаксия (MBE)
- Тестът на чипа след COB пакета
Свързани продукти
Серия вакуумно изолирани тръби
Серия вакуумно изолирани гъвкави маркучи
Динамична вакуумна помпа
Серия вакуумно изолирани фазови сепаратори
Серия вакуумно изолирани клапани
Оборудване за поддръжка на тръбопроводни системи
МОЛЕКУЛАРНО-ЛЪЧЕВА ЕПИТАКСИЯ
Технологията на молекулярно-лъчевата епитаксия (MBE) е разработена през 50-те години на миналия век за получаване на тънкослойни полупроводникови материали, използвайки технология за вакуумно изпаряване. С развитието на технологията за ултрависок вакуум, приложението на технологията се разшири в областта на полупроводниковата наука.
HL е забелязала търсенето на система за охлаждане с течен азот MBE, организирала е техническа основа за успешното разработване на специална система за охлаждане с течен азот MBE за MBE технологията и пълен комплект вакуумно изолирани тръбопроводни системи, които се използват в много предприятия, университети и изследователски институти.
Често срещаните проблеми в полупроводниковата и чип индустрията включват:
- Налягането на течния азот в терминалното (MBE) оборудване. Предотвратяване на претоварване с налягане, което може да повреди терминалното (MBE) оборудване.
- Множество контролери за вход и изход на криогенни течности
- Температура на течния азот в терминалното оборудване
- Разумно количество криогенни газови емисии
- (Автоматично) превключване на главни и разклонителни линии
- Регулиране (намаляване) на налягането и стабилност на VIP
- Почистване на резервоара от евентуални замърсявания и остатъци от лед
- Време за пълнене на течното оборудване на терминала
- Предварително охлаждане на тръбопровода
- Устойчивост на течности във VIP система
- Контролирайте загубата на течен азот по време на прекъсната работа на системата
Вакуумно изолираните тръби (VIP) на HL са изработени по стандарт ASME B31.3 за напорни тръбопроводи. Инженерният опит и способността за контрол на качеството гарантират ефективността и рентабилността на инсталацията на клиента.
РЕШЕНИЯ
HL Cryogenic Equipment предоставя на клиентите си вакуумно изолирана тръбна система, която отговаря на изискванията и условията на полупроводниковата и чип индустрията:
1. Система за управление на качеството: ASME B31.3 Кодекс за напорни тръбопроводи.
2. Специален фазов сепаратор с множество криогенни входове и изходи за течности с функция за автоматично управление отговаря на изискванията за емисии на газове, рециклиран течен азот и температура на течния азот.
3. Адекватното и навременно проектиране на изпускателната система гарантира, че крайното оборудване винаги работи в рамките на проектираната стойност на налягането.
4. Газотечностната бариера се поставя във вертикалната тръба VI в края на тръбопровода VI. Газотечността използва принципа на газово уплътнение, за да блокира топлината от края на тръбопровода VI в тръбопровода VI и ефективно да намали загубата на течен азот по време на прекъсната и периодична работа на системата.
5.VI Тръбопровод, контролиран от серията вакуумно изолирани клапани (VIV): Включва вакуумно изолиран (пневматичен) спирателен клапан, вакуумно изолиран възвратен клапан, вакуумно изолиран регулиращ клапан и др. Различни видове VIV могат да бъдат модулно комбинирани за управление на VIP според нуждите. VIV е интегриран с VIP предварително изработен от производителя, без изолационна обработка на място. Уплътнителният блок на VIV може лесно да се смени. (HL приема марката криогенни клапани, определена от клиентите, и след това произвежда вакуумно изолирани клапани от HL. Някои марки и модели клапани може да не могат да бъдат произведени като вакуумно изолирани клапани.)
6. Чистота, ако има допълнителни изисквания за чистота на повърхността на вътрешната тръба. Препоръчително е клиентите да изберат тръби от неръждаема стомана BA или EP като VIP вътрешни тръби, за да се намали допълнително разливането на неръждаема стомана.
7. Вакуумно изолиран филтър: Почистете резервоара от евентуални замърсявания и остатъци от лед.
8. След няколко дни или по-дълго спиране или поддръжка е много необходимо предварително охлаждане на тръбопровода за загряване на въздух (VI) и крайното оборудване, преди да се влезе криогенна течност, за да се избегне образуването на ледена шлака след директното навлизане на криогенна течност в тръбопровода за загряване на въздух (VI) и крайното оборудване. Функцията за предварително охлаждане трябва да се вземе предвид при проектирането. Тя осигурява по-добра защита на крайното оборудване и помощното оборудване на VI тръбопровода, като например клапани.
9. Подходящ както за динамична, така и за статична вакуумно изолирана (гъвкава) тръбна система.
10. Динамична вакуумно изолирана (гъвкава) тръбна система: Състои се от гъвкави вакуумно изолирани маркучи и/или вакуумно изолирана тръба, съединителни маркучи, вакуумно изолирана клапанна система, фазови разделители и динамична вакуумно-помпена система (включително вакуумни помпи, електромагнитни клапани, вакуумметри и др.). Дължината на единичния гъвкав вакуумно изолиран маркуч може да бъде персонализирана според изискванията на потребителя.
11. Различни видове връзки: Могат да се избират тип вакуумна байонетна връзка (VBC) и заварена връзка. Типът VBC не изисква изолация на място.
