Проектът Chip MBE, завършен през последните години

Технология

Молекулярно-лъчевата епитаксия, или MBE, е нова техника за отглеждане на висококачествени тънки кристални филми върху кристални подложки. В условия на ултрависок вакуум, чрез нагряваща печка, оборудвана с всички необходими компоненти, се генерира пара. През отвори, образувани след колимиране на атомен или молекулярен лъч, директно се инжектира в монокристалния субстрат до подходяща температура. Контролирайки сканирането на молекулярния лъч върху субстрата, той може да накара молекулите или атомите в кристалните слоеве да образуват тънък филм върху субстрата.

За нормалната работа на MBE оборудването е необходимо течен азот с висока чистота, ниско налягане и ултрачист, който да се транспортира непрекъснато и стабилно до охладителната камера на оборудването. Като цяло, резервоар, който осигурява течен азот, има изходно налягане между 0,3 MPa и 0,8 MPa. Течният азот при -196℃ лесно се изпарява в азот по време на транспортиране по тръбопровод. След като течният азот със съотношение газ-течност около 1:700 се газифицира в тръбопровода, той ще заеме голямо количество пространство за поток на течен азот и ще намали нормалния поток в края на тръбопровода за течен азот. Освен това, в резервоара за съхранение на течен азот е вероятно да има непочистени отломки. В тръбопровода за течен азот наличието на влажен въздух също ще доведе до образуване на ледена шлака. Ако тези примеси попаднат в оборудването, това ще причини непредсказуеми повреди по него.

Следователно, течният азот във външния резервоар за съхранение се транспортира до оборудването MBE в безпрашна работилница с висока ефективност, стабилност и чистота, а ниското налягане, липсата на азот и примеси, 24 часа без прекъсване, правят такава система за контрол на транспорта квалифициран продукт.

тсм (4)
тсм (1)
тсм (3)

Съответстващо оборудване MBE

От 2005 г. насам HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) оптимизира и подобрява тази система и си сътрудничи с международни производители на MBE оборудване. Производителите на MBE оборудване, включително DCA и REBER, имат съвместни отношения с нашата компания. Производителите на MBE оборудване, включително DCA и REBER, са си сътрудничили в голям брой проекти.

Riber SA е водещ световен доставчик на продукти за молекулярно-лъчева епитаксия (MBE) и свързани с тях услуги за изследвания на сложни полупроводници и промишлени приложения. Устройството Riber MBE може да отлага много тънки слоеве материал върху субстрата, с много висок контрол. Вакуумното оборудване на HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) е оборудвано с Riber SA. Най-голямото оборудване е Riber 6000, а най-малкото е Compact 21. То е в добро състояние и е получило признание от клиентите.

DCA е водещата световна технология за оксидна MBE. От 1993 г. насам се извършва систематично разработване на техники за окисление, нагряване на антиоксидантни субстрати и източници на антиоксиданти. Поради тази причина много водещи лаборатории са избрали DCA оксидна технология. Композитни полупроводникови MBE системи се използват по целия свят. Системата за циркулация на течен азот VJ на HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) и MBE оборудването на множество модели DCA имат съвпадащ опит в много проекти, като например моделите P600, R450, SGC800 и др.

тсм (2)

Таблица с производителността

Шанхайски институт по техническа физика, Китайска академия на науките
11-ти институт на Китайската корпорация за електронни технологии
Институт по полупроводници, Китайска академия на науките
Хуауей
Alibaba DAMO Academy
Powertech Technology Inc.
Делта Електроникс Инк.
Суджоу Евърбрайт Фотоникас

Време на публикуване: 26 май 2021 г.

Оставете вашето съобщение