Новини - Проектът Chip MBE, завършен през последните години

технология

Молекулярно-лъчева епитаксия, или MBE, е нова техника за отглеждане на висококачествени тънки филми от кристали върху кристални субстрати. В условия на свръхвисок вакуум, нагревателната печка е оборудвана с всички видове необходими компоненти и генерира пара, през отвори, образувани след колимиращ лъч, атомен или молекулярен лъч, директно инжектиране до подходящата температура на монокристалния субстрат, контролиращ молекулярния лъч до едновременно сканиране на субстрата, той може да накара молекулите или атомите в слоевете за подравняване на кристали да образуват тънък филм върху субстрата "растеж".

За нормалната работа на MBE оборудването се изисква течен азот с висока чистота, ниско налягане и ултра-чист течен азот да се транспортира непрекъснато и стабилно до охладителната камера на оборудването. Като цяло, резервоар, който осигурява течен азот, има изходящо налягане между 0,3MPa и 0,8MPa. Течният азот при -196℃ лесно се изпарява в азот по време на транспортиране по тръбопровод. След като течният азот със съотношение газ-течност от около 1:700 бъде газифициран в тръбопровода, той ще заеме голямо количество пространство на потока на течния азот и ще намали нормалния поток в края на тръбопровода за течен азот. Освен това в резервоара за съхранение на течен азот има вероятност да има остатъци, които не са били почистени. В тръбопровода за течен азот наличието на мокър въздух също ще доведе до генериране на ледена шлака. Ако тези примеси се изхвърлят в оборудването, това ще причини непредсказуема повреда на оборудването.

Следователно течният азот във външния резервоар за съхранение се транспортира до MBE оборудването в цеха без прах с висока ефективност, стабилност и чистота и ниско налягане, без азот, без примеси, 24 часа без прекъсване, такава система за контрол на транспортирането е квалифициран продукт.

Подходящо MBE оборудване

От 2005 г. HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) оптимизира и подобрява тази система и си сътрудничи с международни производители на MBE оборудване. Производителите на MBE оборудване, включително DCA, REBER, имат отношения на сътрудничество с нашата компания. Производителите на MBE оборудване, включително DCA и REBER, са си сътрудничили в голям брой проекти.

Riber SA е водещ световен доставчик на продукти за епитаксия с молекулярни лъчи (MBE) и свързани услуги за изследване на съставни полупроводници и индустриални приложения. Устройството Riber MBE може да нанася много тънки слоеве материал върху субстрата с много висок контрол. Вакуумното оборудване на HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) е оборудвано с Riber SA. Най-голямото оборудване е Riber 6000, а най-малкото е Compact 21. В добро състояние е и е признато от клиентите.

DCA е водещият в света оксиден MBE. От 1993 г. насам се извършва систематично разработване на техники за окисление, антиоксидантно нагряване на субстрата и източници на антиоксиданти. Поради тази причина много водещи лаборатории са избрали DCA оксидна технология. Композитните полупроводникови MBE системи се използват по целия свят. Системата за циркулация на течен азот VJ на криогенното оборудване HL (HL CRYO) и оборудването MBE на множество модели на DCA имат съвпадащ опит в много проекти, като модела P600, R450, SGC800 и др.